| 本体寸法 | 約 80mm×80mm×80mm ６次元動作 |
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| 応用 | 精密加工／精密アライメント |
| 提供 | 機械振興協会技術研究所殿 |
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（機械振興協会技術研究所殿）
オープンＭＣによるパラレルメカニズム制御 |
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| 最大９軸補間 | |
| なめらか輪郭制御 微小直線の連続 | |
| 機構演算の公開も可能 | |
| 自動運転／手動運転（ジョイスティックなど） | |
| EXCELによる運転も可能 | |
６自由度画像検査
ＩＣのボンディングを斜めから
最適角度で画像チェック
指定の軌跡をなめらかに連続検査
| 卓上・超小型パラレルロボット制御 |
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超小型パラレルロボット （機械振興協会技術研究所殿） |
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パラレルロボット制御システム | ||||||||||||
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応用例 ＩＣチップの検査 ６自由度画像検査 ＩＣのボンディングを斜めから 最適角度で画像チェック 指定の軌跡をなめらかに連続検査 |
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