精密サーボ制御／超高速ＤＮＣ システム

サブサブミクロン （10nm〜50nm精度）モーション制御
◆汎用のＡＣサーボやリニアスケールとオープンモーションコントローラにより、
　 １ｐ＝10nm〜50nm精度のサーボ制御が可能です。
◆高価なナノシステムＮＣ制御に比べて、はるかに安いコストです。
◆オープンモーションコントローラであればユーザソフトを直結することができます。
◆高精度加工、レーザ応用など小型高精度マシンに最適です。

汎用 ＡＣサーボ ・ リニアスケール ・ ＰＣ ・ Ｗｉｎｄｏｗｓ ・
オープンモーションコントローラ
オープン オープンモーションコントローラによるソフト／ハードの
インターフェースの公開　　お客様のソフト（ユーザアプリ）と融合

１．システム構成

リニアスケールによる精密サーボ制御

２．特徴

ａ． ＰＣ／Ｗｉｎｄｏｗｓ
 市販品互換性 コストパフォーマンスの良さ オープン
ｂ． ユーザアプリ
CAD/CAM
 お客様主体のＰＣアプリやCAD/CAM
テクノＤＬＬを応用したアプリ開発では、NC（制御）の
専門知識は不要
ｃ． ＰＣ通信ライブラリー
（テクノＤＬＬ）
 ＰＣアプリからオープンモーションコントローラのハード／ソフト
資源を自由・リアルタイムに使用
ｄ． ＳＰＸ−８０００ オープンモーションコントローラ
制御性・リアルタイム性を保証
ｅ．
 ＡＣサーボ制御 高分解能ＰＧ ２０bitＰＧ
ｆ．
 リニアスケール
 1p＝１０〜５０nm精度 汎用品


３．精密サーボ制御を支える技術

−モーション制御の基本性能−

ａ．　　多軸制御 ９軸補間（標準） アナログ速度指令
ｂ．　　高速サンプリング制御 1msec／2msec制御周期
ｃ．　　精密低速送り 1pps＝１０〜５０nm／sec
ｄ．　　高速送り ４Mpps＝４０〜２００mm／sec
ｅ．　　完全パス動作 ブロック間停止なし 微小直線補間の連続
ｆ．　　加減速制御 直線型／指数型／Ｓ字型
ｇ．　　形状補正 サーボ系のドループを補正（軌跡精度向上）
ｈ．　　自動ドリフト補正 アナログ系のドリフトを自動補正



４．強力なCAD/CAMインターフェース

−モーション制御の拡張性−

ａ．　　超高速ＤＮＣ ＰＣＩバス方式による高速データ転送（ＰＣ→ＳＰＸ）
自由曲線データを精密に微小直線の連続に分解するため、
大量の指令データを短時間に送る必要がある
ＳＰＸボード内のＤＮＣバッファー ２５６KB〜１ＭＢ
ｂ．　　オープンシステム テクノのＤＬＬを応用することで、ＰＣアプリケーションソフトの
開発（V.C++など）は自由かつ強力
ｃ．　　CAD/CAM I/F ＤＸＦフォーマットなどのインターフェースも容易
CAD/CAMソフトからダイレクトにテクノＤＬＬを使うことも可能
ｄ．　　レーザ強度指令 標準CAD/CAMのカスタマイズまたはインターフェースソフト
の専用化により、レーザー制御も可能

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