| 実測データ紹介 補間前加減速の効果 | ||||
| 円弧縮小なし/象限突起の改善 | ||||
| 実機での代表的な計測事例をご紹介します。10nm単位で制御する精密多軸マシンです。 通常の円弧補間の半径縮小は、高い位置ループゲインと補間前加減速で改善します。 さらに高精度な円弧では、象限突起も課題となりますが、リニアモータによってクリアーできます。 真円精度の計測は、テクノのモーションコントローラに内蔵するTPCロギングと解析ソフトにより、 非常に簡単です。動作や制御の条件を変えながら、短時間でいろいろなテストが可能です |
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| ■通常の円弧 | ■計測例1 通常円弧:縮小大 | |||
| 動作条件 位置単位 1p=10nm 円弧半径 R=10000000(100mm) 速度 F=5×107pps(500mm /秒) 制御条件 直線型補間加減速時定数=50msec 位置ループゲイン =160r/s 結果 円弧縮小 50000p(0.5mm) 円弧縮小が大きく、それ以上の評価が困難 精度判定スケール:70000p(700μm) 通常の加減速は補間後の処理であるために、 円弧の縮小が発生します。 |
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| ■補間前加減速による円弧 | ■計測例2 補間前加減速:縮小無し | |||
| 動作条件 位置単位 1p=10nm 円弧半径 R=10000000(100mm) 速度 F=5×107pps(500mm /秒) 制御条件 直線型補間加減速時定数=0msec 位置ループゲイン =160r/s 補間前加減速 =50msec 結果 円弧縮小 ほぼ無し(良好) 円弧精度 誤差1μm以下の高精度 象限突起 400p(4μm) 精度判定スケール:500p(5μm) 補間前加減速により、円弧縮小はなくなりました。 計測例1と2では、評価スケールが140倍に改善 していることにご注意下さい。 |
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| ■補間前加減速で縮小なし | ||||
| 計測例2では、補間前加減速によって、円弧の縮小がほとんどなくなっています。 そのため、理想円弧との真円度の評価をスケール500p(5μm)でおこなっています。 グラフの中央が理想円、内側と外側に±500pの縮小と拡大の円を想定して、 スケールとしています。 補間前加減速の効果は、十分に確認できました。 補間前加減速の詳細は、PLMC−MUEXマニュアル 機能編 5−19 TB00-0900E を参照下さい。 ※ 位置ループゲインが比較的高い値であることも重要なポイントです。 今回のマシンでは、ゲインは高くとれても、加減速がないとショックや オーバシュートが発生してしまう問題がありました。 |
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| ■象限突起:リニアモータによる改善 |
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| 計測例2では、1μm以下の誤差で高精度な円弧が実現しています。 ただし、Y軸の方向変換時に象限突起状の誤差が確認できます。 誤差を拡大してますので、突起状に見えますが、実際は4μm程度の誤差です。 この円弧は、図の下からスタートして、反時計回りで1周しています。 実は、X軸はリニアモータで、Y軸は回転型モータとボールネジです。 ◆X軸:リニアモータ →象限突起無し ◆Y軸:回転型モータ/ボールネジ →象限突起4μm 「回転型+ボールネジ」と「リニアモータ」では、このような顕著な差があります。 リニアモータによるメリットは、このような所にもあります。 |
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| ■象限突起誤差のメカニズム | ||||
| 象限突起のメカニズムは、機構やサーボのトルク/速度ループ制御に深く・複雑に 関係しています。モーションコントローラによる補償や制御は、現状では困難です。 サーボアンプでの改善が期待されます。 理論的な解析などは、精密工学会を中心にいろいろな方々がされてます。 |
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| ■TPCロギングによる解析のメリット | ||||
| 上記の事例からもわかるように、nmに近いレベルの解析までTPCロギングは有効です。 オープンMCで制御しているシステムでは、特別な準備なしに、このような解析が可能です。 実機で現場レベルの計測が簡単に行えるのがメリットです。 TPCロギングと解析ソフトでは、真円度/直線精度/軌跡の拡大表示/各軸の速度など、 同じデータから多面的に解析できます。そのため、制御系/サーボ系/機構などの 特性評価を状況や目的に応じて、リアルタイムに実行できます。 TPC−EXCEL軌跡解析の紹介 (オープンMCユーザは、無償でダウンロード可能です。) |
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